低电子温度可以降低解离速率，电晕机火花大维修问题从而降低晶圆表面轰击能量、聚合物生产和真空紫外发射。低电子温度可以使离子能量峰的宽度变窄，使精确控制能量打击成为可能，从而提高选择性。此外，在电晕的电晕关闭时间内，新鲜气体可以改变电晕的均匀性。另外，同步冲孔可以通过off比调节活性基通量和子通量，从而
