辉光等离子清洗是一种在低压条件下稳定、自持的放电，工业等离子活化机其中将特定电压施加到两个扁平电极上以形成辉光放电。放电电流为毫安级。这是由阳离子对阴极的影响产生的二次电子发射来维持的。电源为直流或交流。可以产生典型的大量强激发冷等离子体，但其工作压力过低，难以连续产生，工业应用成本高。目前的应用范
