通过内部预设程序和采用不同的气体来产生化学活性的等离子来轻松完成对材料及样品表面的清洗、脱脂、还原、活化、清除光刻胶、刻蚀、涂层等。在用原子力显微镜（ （AFM ）、 扫描电镜（SEM ）或透射电镜（ （TEM ）对样品成相前 使用氧气等离子来清除样品表面吸附的碳氢污染从而获得更好的分辨率和真实的材
