因此，层间附着力研究为了避免这种条纹的形成，在BARC蚀刻过程中必须严格控制聚合物在层间保护层侧壁上的沉积。孙武等人研究了抗反射层的刻蚀工艺参数，如大气等离子清洗剂CHF3/CF4的刻蚀气体比、等离子功率、刻蚀工艺时间等。 CHF3 / CF4 比率越低，条纹越少。这是因为CF4越高，蚀刻气体的C/
