虽然这种传感器具有长寿命、薄膜型和低成本等优点，小型等离子清洗机厂家但都属大体积的分立器件，不能满足驻极体声传感器小型化、集成化的要求。近年来发现二氧化硅(SiO2)薄膜具有较优良的驻极化性能，鉴于它在硅集成电路工艺中的重要地位，人们希望SiO2薄膜能成为制备微型集成声传感器的敏感薄膜材料。液态的分
