2、系统控制单元：数字自动控制、I/O控制、真空A/D检测、脉宽比D/A调节、参数记忆、时钟设定。 3、真空及气路部分：真空系统、外气、流量控制、回气及管路。对于小型等离子清洗机，小型真空等离子清洗机供应商低射频功率允许将射频功率和控制装置组装在一个机箱中。占用空间，二是操作和布置方便，但同时又大与
