plasma设备常用的电源有两种，射频等离子清洗机安装方法一种是13.56KHz的射频电源，这种电源产生的等离子密度高，能量柔和，温度低，功率一般为1~2KW，大的可达5KW，小的可达几百W，是用得多的N2电源；另一种是40KHz的中频电源，这种电源与射频电源正好相反，等离子的密度不高，但强度大，能
