在晶圆蚀刻过程中，电晕机怎么读采用高密度电晕源蚀刻技术，需要独立的射频源对晶圆进行偏压，使能量和离子相互独立。由于离子的能量一般在几个电子伏特的数量级，当离子进入负鞘层时，通过能量加速度可达数百电子伏特，具有很高的方向性，使离子刻蚀具有各向异性。。电晕刻蚀机干法处理技术在哪些行业的优势尤为突出？随着
