射频与高频放电等离子体的产生机理是有所不同的；从应用的角度来看，湖南射频等离子清洗机使用方法高频电源更便宜，相关装置的设计与制造更间单，因此更实用，从近十年的文献分析来看，这类装置的结构大多采用了在惰性气体%1(或以惰性气体为主掺入一些活性气体)气流通道上形成DBD。 (2) 引线键合前。芯片贴附在
