良率主要是由于离心清洗机和超声波清洗机无法对高清洁度的HOLDER和PAD表面污染物进行清洗，离心清洗机电阻率达不到有那些原因导致HOLDER和IR之间的附着力差，结合不良。问题是等离子处理后的有机（有机）污染物和HOLDER上的活化（化学）基板可以超干净地去除，使对IR的附着力提高2到3倍，同时也
