由于前处理工序对于ITO玻璃表面清洁程度处理不到位，玻璃表面改性xps影响到后面的活化工艺的均匀性，最终会使化学镀铜层出现易剥落，不均匀、清洁度差等问题。等离子体清洗可以使ITO玻璃表面改性、去除ITO表面的残余离子，使后续的活化、镀铜工艺顺利进行。未经等离子体表面清洗的基板洁净度较差,而经等离子体
