主要特点:针对材料表面,corona电晕处理器对内部无侵蚀,可得到超高洁净度的表面,为下一道工序做好准备。2.蚀刻:采用典型的气体组合形成可蚀刻气体电晕,电晕与物体表面的有机材料反应生成CO、CO2、H2O等其他气体,从而达到电晕蚀刻的目的。主要特点:材料工件蚀刻均匀;不损坏工件基体;能有效去除表面