6.半导体/LED解决方案 等离子在半导体行业的应用是基于集成电路的各种元器件和连接线非常精细，导体附着力标准因此在工艺过程中容易出现灰尘或有机物等污染，极易造成晶片损坏，使其短路，为了消除这些工艺过程中出现的问题，在后来的工艺过程中引入等离子表面处理设备进行预处理，利用等离子表面处理机更好地保护我
