硅片有多种尺寸，硅片的亲水性简单处理尺寸越大，产率越高。题外话，由于硅片是圆的，所以需求在硅片上剪一个缺口来承认硅片的坐标系，根据缺口的形状不同分为两种，分别叫flat、notch。 内部关闭框架、减振器：将作业台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振荡干扰，并维持稳定的温度、压力。光刻机分类 光
