活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。低温等离子体清洗机是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，什么基团对玻璃附着力好从而达到清洗目的。等离子体表面处理机可用于清洗、蚀刻、活化和表面制备等。可选用40KHz、13.56mhz和2.45ghz三种射频发生器，以适应不同的
