3 .上电极功率300W，附着力促进剂和树脂相融吗时间Ss;等离子体清洗方法，其特点是对气体清洗工艺设置的工艺参数如下:气室压力10- 20mg torre，工艺气流量- 300sccm，时间1-5s;启辉工艺的工艺参数设置如下:(气室压力10- 20mtorr，工艺气流量-300ccm，上电极功率
