由于我们一般希望以准静电方式使用探针，如何增加PE的亲水性所以在低温等离子体表面处理中，探针偏置电压通常随等离子体电位振荡，以消除电位振荡对探针测量的影响。那么如何优化等离子清洗机探针分析结果呢？在探针测量理论中，通常假定等离子体中的电子具有麦克斯韦分布。然而，在许多情况下，电子会偏离麦克斯韦分布。
