硅大规模集成电路和半导体激光器的发明，外延片等离子体除胶设备使世界进入了以微电子和光电子技术为基础的信息化时代，极大地促进了社会经济的发展。 6 分子束外延的发明 制造双异质结激光器的一项重要技术是分子束外延。 1968年，诺基亚贝尔实验室的卓一和发现，通过在超高真空容器中精细控制束流的大小和时间，
