也有许多较为难清除的氧化物质可运用氢气（H2）相互配合清洁，电泳附着力0级和1级必要条件是要在密封性特别好的真空环境条件下运用。也有许多特殊性混合气体类似四氟化碳（CF4），六氟化硫（SF6）等，刻蚀和清除有机化合物的功效会更为显着。但这类混合气体的运用前提条件是要有一定抗腐蚀供气和内腔架构，此外自
