气体辉光放电时,从阴极发出的电子经过电场.加速，增强薄膜附着力方法有那些获得能量撞击气体分子,使气体分子激发,在等离子区产生了大量的正离子(等离子区任何位置的电子浓度和正离子浓度相等,所以称等离子区),这些正离子在电场作用下加速向阴极移动,轰击靶材和薄膜表面。Ar的作用是维持正常的辉光放电,同时氩离
