2）电晕脱胶操作方法：将待拆膜插入石英舟内并平行于气流方向，电晕机的要求推至真空室两电极之间，抽真空至1.3Pa，引入适当氧气，保持回旋室压力在1.3-13Pa，加高频功率，电极间产生丁香辉光放电。调整功率、流量等技术参数后，可获得不同的脱胶率。当去除胶膜时，当它干净了，辉光就消失了。3）电晕脱胶的
