等离子清洗、刻蚀产生等离子表面处理的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，增强月季药物附着力的作用用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子问距及分子或离子的白由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子表面处理，同时会发生辉光。等离子表面处理在电磁场内空间运动，并轰击被处理物
