plasma是除固液气外的物质存在的第四种状态，是由原子以及正负电子组 成的具有导电特性的离子化气体物质。plasma清洗，最早始于20世纪初，是利用等离子体的特性与物质相互作用达到去除表面物质的一种工艺。plasma清洗机主要用于各种电子元件的制造、光学、航空航天等领域。Plasma清洗原理如下：
