Ti代表等离子体中离子的温度，增加金属表面附着力6Te代表电子、原子、分子或原子团等中性粒子的温度。如果 Te 比 Ti 和 Tn 大得多，也就是低压气体，那么气体的压力只有几百帕斯卡。当使用直流高压或高频电压作为电场时，伴随的电子质量小，容易在电场中加速，产生平均数个电子伏特的高能量。在电子的情况
