利用直流、射频和微波电场将气体电离可用于制造等离子体源。等离子体清洗技术为材料微观尺度的表面改性提供了一种环保、经济的方法,增加低表面能的附着力改性过程中不需要机械加工和化学试剂。等离子体清洗技术不仅可以对材料表面进行清洗、活化和刻蚀,还可以对塑料、金属或陶瓷材料进行表面改性和优化,提高其结合能力或