无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料 四、表面接枝与聚合 在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时，四川真空等离子清洗真空泵维修保养原理采用等离子体接枝的方法来改善。等离子体接枝的原理为：首先利用表面活化在材料表面产生新的活性基团，利用此基
