等离子体的活性成分包括离子、电子、活性基因、核素的激发态（亚稳态）、光子等。等离子清洗机利用待测品的活性成分对待测品进行适当的表面处理，嘉兴大气喷射等离子清洗机达到提纯、改性、光刻、灰化等目的。除了超清功能外，等离子清洗机还可以根据具体情况改变特定材料的表面特性。等离子体作用于材料表面，改变材料表面
