这样就实现了真空泵与高真空气动挡板阀的联锁，离子清洗设备在真空泵不工作时，高真空气动挡板阀不能打开。上述方案是预防和转化的最简单、最有效的方法。操作简单，安全可靠。但是，要保证产品质量，就需要规范等离子清洗设备的用户。根据操作人员的操作规范，如果设备出现故障停机，需要进入手动界面，及时进行破真空动作
