低压蒸气辉光等离子体主要用于电子清洗。一些非聚合的无机蒸气（Ar2.N2.H2、O2等）在高、低电压下被激发，铁板怎么处理喷漆附着力好产生离子、激发态、氧自由基等许多活性粒子。通常，在等离子清洗机中，惰性气体可分为两类。一种是稀有气体（Ar2、N2 等）的等离子体，另一种是反应气体（O2、H2 等）
