旋转叶片泵是一种油封式机械式真空泵。可单独作为低真空度泵使用，LEDplasma活化机也可与其他高真空度泵结合作为前置级泵使用;体积小、重量轻、噪音低，特别适合实验室使用;该泵不能用于抽过多氧、与泵油有有毒和爆炸性气体或化学作用，或对黑色金属有腐蚀性。极限真空和LE;1.3 Pa.3。滑阀泵是一种油
