4、等离子表面处理操作更精细：可深入微孔和凹坑，半导体plasma表面清洗设备完成清洗任务； 5.等离子表面处理具有广泛的应用：低温等离子表面处理工艺可以处理大多数固体材料，这也是它们的使用非常普遍的原因。等离子清洗可以处理各种可以用低温等离子处理的材料，不管被处理的对象是什么，例如金属、半导体、氧
