等离子清洗机相变存储器的GST蚀刻工艺：GST是目前广泛使用的一种相变材料，北京等离子真空清洗机其等离子清洗机蚀刻工艺为相变存储器所独有。1.等离子清洗机GST蚀刻气体筛选GST作为相变存储器的核心材料，其体积直接影响器件电学性能，因此GST薄膜的完整性(integrity)极为重要。该控制方法可充
