正是由于圆片清洗是半导体制造工艺中最重要、最频繁的工步,而且其工艺质量将直接影响到器件的成品率、性能和可靠性,所以国内外各大公司、研究机构等对清洗工艺的研究一直在不断地进行。等离子体清洗作为一种先进的干式清洗技术，北京真空等离子粉尘处理机供应商具有绿色环保等特点，随着微电子行业的迅速发展，等离子清洗
