低温等离子处理技术的使用始于 1960 年代用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域。近年来，北京常压真空等离子处理机安装方法等离子聚合、等离子刻蚀、等离子灰化和等离子阳极氧化等所有干法工艺技术都出现了。等离子清洗技术也是干法工艺进步的成果之一。与湿法清洗不同，等离子清洗机制是依靠物质在“等
