一般等离子清洗机蚀刻的等离子体都是电负性的，北京大气等离子清洗机使用方法所以在ion-ion等离子体状态，负离子可以脱离束缚中和晶圆表面正电荷，从而减少电荷累积效应。低电子温度可以降低解离率，从而降低轰击晶圆表面能量，减少聚合物产生和真空紫外线释放。低电子温度可以收窄离子能量峰的宽度，使精准控制能量
