等离子体表面处理器的气体团簇离子束在加速电极的作用下可以获得高能量，化学导电氧化镀层附着力在局部区域形成高能量密度，在靶材料表面附近激发许多物理化学反应。然而，星团中每个粒子的速度是交替的，每个粒子的平均能量很低。因此，在与传统等离子体平均能量相同的情况下，粒子的能量分数远优于等离子体，目标材料的深
