1.-PLASMA清洗的化学反应利用PLASMA清洗中的高活性自由基与材料表面的有机物发生化学反应，Plasma清洗原理也称为PE。用 O2 清洁将非挥发性有机物转化为挥发性形式，产生 CO2、一氧化碳气体和水。化学清洗的优点是清洗速度快。选择性高，对（有机）污染物净化效果好。其最大的缺点是在材料表
