六、低温等离子发生器平台部件经过硬质氧化处理后具有以下特点。 （1）低温等离子发生器表面强度高达HV500； (2) 非常好的体积电阻率； (3)具有很强的耐磨性； (4)低温等离子发生器具有优良的耐腐蚀性； (5)可以增加组件的使用时间。。它产生挥发物并用真空泵将其除去。真空泵或排气管设备将被吸起
