工艺气体和基体材料由真空泵抽出,涂层附着力0-5表面不断覆盖新工艺气体。预计蚀刻部分不会被材料覆盖(例如,半导体行业使用铬作为涂层材料)。等离子方法也用于蚀刻塑料表面,填充的混合物可以用氧气焚烧以获得分布轮廓。蚀刻法在POM、PPS、PTFE等塑料的印刷和粘接中作为前处理方法非常重要。等离子处理可以