低温电离的混合气体部分或完全电离，疏水性和亲水性过滤而自由电子、离子定时、总负电荷全部冲进来，且宏观角度为中性。。等离子体表面清洗可以用于处理芯片在粘合之前。由于未处理材料普遍具有疏水性和惰性，其表面粘结性能通常较差，在粘结过程中容易在界面处产生空洞。活化表面能改善环氧树脂等高分子材料表面的流动性能
