真空 - 等离子蚀刻机电离四氟化碳混合气体形成的等离子色调为乳白色，亲水性和憎水性材料肉眼观查类似较稀的乳白色雾气，辨识度很高，非常容易与其他的混合气体区分开。 在晶圆制造领域中光刻技术运用四氟化碳混合气体实现硅块的线路蚀刻，等离子蚀刻机运用四氟化碳实现氮化硅蚀刻及光刻胶清除。。相对而言，区分亲水性
