在等离子体清洁器作用下，二氧化钛的超亲水性CH4和二氧化碳直接转化生成C2烃类。碳氢化合物的主要产物为C2H2和C2H6。等离子体功率的增加有利于C2H2的生成。CH被CO2氧化为C2烃类。甲烷转化率为31%，CO2转化率为24%，C2烃的选择性为64%。。CMOS工艺中等离子体损伤WAT方法的研究
