其优点是不发生化学反应，不锈钢喷塑附着力不好吗清洗表面不留氧化物，可保持清洗物的化学纯度。腐蚀作用是各向异性的；缺点是对表面损伤大，产生热效应大，对清洗后表面的各种物质选择性差，腐蚀速率低。基于化学反应的等离子体清洗的优点是清洗速度快、选择性好、能有效去除有机污染物，缺点是表面会产生氧化物。与物理反
