高深宽比对蚀刻工艺主要带来3方面挑战，等离子低温处理机维修包括由于等离子体在通孔底部分布不均而造成通孔底部侧墙变形；对硬掩膜层高选择比导致蚀刻保护层分布不均引起通孔上部侧墙变形；以及在蚀刻过程中，随着通孔深度越来越深，等离子体难以到达通孔底部引起蚀刻停止。如果您对等离子表面清洗设备还有其他问题，上海
