在工业真空等离子体清洗机的实际使用中,附着力检测仪的规格不同的工艺要求需要选择不同流量控制范围的质量流量控制器。真空等离子体清洗机常用的流量控制范围通常在0~50sccm到0~500sccm之间,一些大型真空等离子体清洗机还采用0~1slm规格的质量流量控制器。在清洗的过程中,附着力检测仪的规格需要