IP胶甚至用于130纳米相移掩模技术的二次掩模加工。 IP胶是1种依托于酚醛树脂的光刻胶。它与poly胶的主要区别在于胶体表面耐分解现象明显，上海小型真空等离子表面处理机多少钱即润湿性差。对IP胶而言，润湿性差，会使显影液在显影过程中很难均衡地作用于胶体表面，产生缺陷或造成显影不全。如何改进显影前I
