等离子处理设备与灼烧处理相比，上海低温真空等离子表面处理机说明书不会损害样品，同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，盲孔和带缝隙的样品也可以处理。 三、表面刻蚀 在等离子刻蚀过程中，通过处**体的作用，被刻蚀物会变成气化物（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处**体和基体气化物质被真空泵抽出
