目前应用于微孔的孔清洗工艺主要是超声波清洗和等离子清洗。超声波清洗主要是利用空化作用来达到清洗的目的。耗时且取决于清洗液的去污性能，转印贴附着力这加剧了废液处理的问题。现阶段常用的设备主要有等离子清洗机，清洗小孔的等离子清洗机，电子行业可以在换低温等离子镀膜、印刷、镀膜、点胶等之前使用的等离子清洗机
