为实现这一目标,rtr型真空等离子体设备德国SURTEC公司研制了一种磷酸盐脱脂剂surtc1132,其用量约为2~6%与0.5%的surtec1084表面活性剂配合使用,该种脱脂剂溶液的温度在30~50C之间可显著减少碱雾的产生。 4.真空等离子清洗机腔体材质的选择 目前常见的腔体材质有以下几种,