难粘塑料表面的低温等离子体处理；非粘塑料主要指聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟乙烯(PTFE)、全氟乙丙烯(FEP)等含氟塑料。这类塑料一般具有其他高分子材料所不具备的优点。例如，pt-5s刻蚀设备PE等聚烯烃塑料价格低廉，性能优良，易于加工成各种型材，因此在日常生活中应用广泛；聚四氟乙烯一般
